目前常用的臭氧发生器是用高压放电法生产的。 首先,臭氧发生器通过电气原理产生高电压; 第二,在高压达到后,空气被吹穿,空气中的分子被电离。其中包含的氧分子被电离,产生由三个氧原子结合形成的臭氧分子。所以一般也称臭氧发生器为“负氧离子发生器”。氧可以在电子、原子能射线、等离子体和***的轰击下分解为氧原子。这种氧极其不稳定,活性很高,并能迅速与氧结合成三原子臭氧。
目前,生产臭氧的方法一般有:无声放电法、核辐射法、紫外法(低压汞灯)、等离子体射流法和电解法。光晕放电是使用高速电子将干的氧气吹入氧原子。高速电子有足够的动能(6到7ev),由准氧原子与氧和任何其他气体分子形成臭氧。o3通常是由空气或氧气中无声的高频高压放电产生的。当使用空气作为气源时,O3浓度为10~20g/m3,功耗为1kgO3/16~18kwh;当O2为气源时,O3浓度可增加2~3倍,功耗减半。电解法是一种利用直流电源电解含氧电解质的方法。含有水溶液荧光阴离子电解质的水溶液可以在室温下以高电流功率被氧化为o3。这种方法产生高浓度的臭氧,纯成分和在水中的高溶解度。