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光伏、半导体、太阳能行业

作者:青岛为园环保科技有限公司时间:2021-09-18 11:17:47429 次浏览

信息摘要:

  臭氧应用在半导体行业中,CVD膜成型技术使用形成硅氧化膜,**膜的平面性。利用臭氧溶于水的氧化性和·OH的双重作用,降低化学品消耗、处理成本以及提高清洁效率,在芯片制造过程中,臭氧主要用于半导体晶片、L···

  臭氧应用在半导体行业中,CVD膜成型技术使用形成硅氧化膜,**膜的平面性。利用臭氧溶于水的氧化性和·OH的双重作用,降低化学品消耗、处理成本以及提高清洁效率,在芯片制造过程中,臭氧主要用于半导体晶片、LCD(液晶显示)用玻璃基板、精密光学零件基板,消除有机物、金属和颗粒,去除光刻胶(臭氧抛光),并对去离子水设施进行消毒,疏水性转变为亲水性。

  臭氧应用在光伏行业中硅晶片的表面结构化(俗称制绒)的预清洗和后清洗,取消对应槽体双氧水和碱的使用,降低成本和环保;单晶硅PERC使用臭氧水+盐酸的方式;臭氧氧化生成SiO2钝化薄膜,增强硅晶片的抗PID效应能力。


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