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臭氧应用在半导体行业中，CVD膜成型技术使用形成硅氧化膜，**膜的平面性。利用臭氧溶于水的氧化性和·OH的双重作用，降低化学品消耗、处理成本以及提高清洁效率，在芯片制造过程中，臭氧主要用于半导体晶片、LCD(液晶显示)用玻璃基板、精密光学零件基板，消···
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